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BALLUFF壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。

巴魯夫感應(yīng)式傳感器借助振蕩器形成了一個(gè)高頻場(chǎng);線圈在傳感器*輻射該場(chǎng)，從而形成傳感場(chǎng)。當(dāng)金屬物體進(jìn)入傳感場(chǎng)時(shí)，渦電流就被引入其內(nèi)，從而降低振蕩器發(fā)出的能量。當(dāng)能量降至足夠低時(shí)，振蕩器將停振。觸發(fā)電路在感應(yīng)到振蕩停振時(shí)，將改變輸出端開(kāi)關(guān)裝置的狀態(tài)。